Ruby
- 次世代裏面レーザー電圧プロービングシステム
- 迅速且つ正確に１v以下の電圧波形を測定出来る事はタイムリーな解析には重要です。 Rubyレーザ電圧プローブシステムは、動作電圧１v以下のデバイス向けに最先端の解析機能を提供する、ダイナミック波形収集・解析 システムです。
- 集束赤外線レーザーと固浸レンズ（SIL）により、RubyはシリコンデバイスのSi基盤を通してデバイス上で作動中のトランジスターからの 波形を測定できます。
- Rubyは実績が豊富で、信頼度の高いEmiScopeアーキテクチャーの上に新型レーザー電圧プロービング収集スキーム Polarization Difference Probing (PDP)を搭載しています。Rubyは他に類をみないほどの低電圧感度、波形タイミングの精度を容易な使用法で 提供しています。
- ＜Ruby 10の特徴＞
- ①ノードでのタイミング波形観察
- ②10ps分解能、20GHz周波数帯域
- ③ n-FET、p-FETデバイスタイプのプローブ
- ④Vdd=600mVで最小45nmノードの検証済み
- ⑤少ないレーザー出力でのPDPプロービング
- ⑥テストループの制限が低く、入力クロックの許容範囲が広い
- ⑦固浸レンズ（SIL）とレーザースキャンマイクロスコープ（LSM）による高解像度近赤外線イメージ
- ⑧ATEドッキング機能で高速なデバイスプロービングが可能
- ⑨EmiScopeユーザーインターフェース応用の使い易いソフトウエア制御
- ⑩NEXSソフトウエアのナビゲーションツールとの互換性
- 波形
- Rubyは時間変化エミッション（TRE）とレーザー電圧プロービング（LVP）の利点を集めています。 このPDPを基にしたプローバは測定周波数帯域、低電圧測定、n-、p-FETの両方のデバイスをプローブ出来ること、電圧状波形での データ表示、必要レーザー出力の低下による破損減少など、歴史あるLVPの重要機能を向上させています。
- RubyはTREシステムから継承する生産性向上の利点があります。例えばテストループの設定が 簡単で制限が少ない、DCGシステムのポイントアンドクリック固浸レンズ（SIL）を使用した業界最高の感度、分解能などです。
- 信号
- Rubyは特許取得済みの「ポイントアンドクリック」固浸レンズ（SIL）を使用し、容易な使用法と優れたイメージング、 信号品質を達成しています。システムの一部としてSILは超高精度赤外線イメージングと効率的な信号収集を、ポイントアンドクリックな 使用法で達成するよう設計されています。2.45NA SILはシリコン基板と直接接触し、信号の伝達と裏面からのシリコンを通したイメージの 明瞭度を最大、最良にします。
- SILに装着するオプションのスプレー冷却システムによりRubyはこのクラス最高の高出力デバイス 対応精密波形信号収集システムです。
- 旧来のLVPシステムからの進歩
- 赤外線プローバレーザーは旧来のレーザー電圧プローバに比較してイールドの大幅な向上を達成しています。 Rubyの広い周波数帯域モードロックレーザー（MLL）は広いチューニング域を持ち非常に安定しています。 1064nmレーザーは自動キャビティ長さ調整で受動的にモードロックされ、10ps以下の極短、低ノイズレーザーパルス発生が可能です。
- 革新的な｢デュアルレーザー｣ノイズ低減スキームの追加ダイオードレーザー源が テストパターンのノイズを抽出し、それによりRubyは低周波数ノイズ要素を覗くことができ、SNRを向上させます。
- 改良型スペクトルマッチングにより今までのものに比べ２倍以上の基礎ノイズレベルの減少を達成し、波形取得が 今までの４倍の速さで出来るようになりました。
- システムコントロール
- Rubyのシステムコントロールは実績のあるEmiScopeグラフィカルユーザーインターフェースを基にしています。
- 自由度の高いテスター同期と単干渉計コントロールパラメーター、その他の簡単な設定オプションが用意されています。 高精度タイミング計測では周波数帯域23GHz以上で10psのタイミング分解能があります。
- P3X-IVのアーキテクチャーは多種の修正機能を備えています。ユーザーはソフトウエアのサポートにより、 低ビーム電流、終点検知機能で正確な深さにミリングを行えます。
- オプション
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- 強力スプレー熱制御システム
- Qualified clock acquisition scheme for jitter mitigation ジッタ軽減用クロック計測スキーム
- NEXSソフトウエアナビゲーションツールとの完全互換性、デバイス解析エンジニア用にフォーマットされた CADナビゲーションデータを高速、簡単に作成できます。
