P3X
- IC回路修正とプローブポイント製作
のための集束イオンビーム
（FIB） - P3X-IVは銅、low-K絶縁体、多層レイヤーなど複雑なプロセスを駆使して製作したICを表面から修正するのに 理想的なシステムです。DCGシステム社のP3X-IVは現在最も進んだ表面回路修正FIBシステムで、90nmから65nmテクノロジーの デバイスを修正する唯一の実用的なシステムです。P3X-IVは導電体蒸着、配線加工、絶縁膜加工など主要な修正技術の全てを行うことが できます。
- ＜P3X-IV 9つの特徴＞
- ①SiO2やLow-K絶縁膜上の銅配線の精密エッチング
- ②ピコアンペア以下のビーム電流によるＦＩＢ像観察と終点検出
- ③PC上で稼動するコントロールソフトウエア、FUSION
- ④組み込みFIB Assist™
- ⑤デュアルマイクロジェットオプション
- ⑥加工用途に合わせ、十種類のアシストガスをサポート
- ⑦低比抵抗導電性デポジションオプション
- ⑧レーザー干渉計ステージオプション
- ⑨レーザー干渉計ステージ
- ⑨CMPナビゲーター：CAD画面と組み合わせた精密電子ビーム偏向 (米国特許 5,401,972)
- ターゲット命中
- 高アスペクトレシオの修正を精度よく行うことは多層配線と高密度トランジスターのIC回路修正には 最も重要なことです。P3X-IVはＥ-ビームと機械的プローブ用のプローブポイントを低抵抗にて形成します。（アスペクトレシオ２５：１)
- P3X-IVによりマスクサイクルは２回にまで減らすことが可能です。開発費の削減と開発日程の短縮に役立ちます。 P3X-IVはデバイスの変更も行え、プロトタイプの確認時間を短縮できます。FIBによる修正時間を最短に、成功率の極大化が図れます。
- P3X-IVのユニークなアーキテクチャーによりP3X-IVは高精度のナビゲーションと一番難しい修正要求にも お応えできる各種の位置決め機構をご用意できます。
- ミリング
- 当社独特のナノブレードコラムは独創的な設計で他社の追従を許さない微細加工とイメージング機能を備えています。 P3X-IVはFIBの中でもっとも進歩した、非常に小型の｢ドリルビット」（5nm、0.5pA）を備えています。
- 電子系と機械系のアパチャーをスムーズに結合したシングルコラムで、 広いレンジのビーム設定を可能にし、性能と生産性の向上に貢献します。
- ハロゲン系のアシストガスは対象物質だけに対してのみ速いミリング速度を出します。
- シングル、またはオプションのデュアルマイクロジェットと多種のアシストガスを搭載できる マニフォールドが選べます。
- 業界最精密の銅配線修正
- P3X-IVで採用しているエッチングアシストガスは周囲の絶縁体のエッチングを最小にしながらも配線加工速度は 速いので修正時間を短縮できます。
- 第二世代銅エッチングアシストガス“CU2”は第一世代の“CU1”に比較してエッチング速度は4倍から5倍の速さですが、 下のlow-K絶縁膜のエッチングは最小限になるように作られています。この材料選択性機能はSiO2、フッ素系や、有機系のlow-K絶縁膜に 対して５：１を越えています。
- 加工終了点を検出する
- 感度の高い終点検出機構でデバイスの材料変化を感知しミリングの状況を判断出来ます。P3X-IVは終点シグナルを穴のほぼ平行な 両側から検出することが出来ます。
- P3X-IVのアーキテクチャーは多種の修正機能を備えています。ユーザーはソフトウエアのサポートにより、 低ビーム電流、終点検知機能で正確な深さにミリングを行えます。
- 容易な使用方法
- PC上で稼動するFUSIONソフトウエアにはFibics社製のFIB AssistTMを搭載しています。FUSIONはFIBおよび 光学系の高解像度イメージとリアルタイムの各種イメージプロセサーの組み合わせでユーザーに幅広い使い方を提供 します。
- FIB Assist?は回路修正の速度と精度を上げ、修正結果を確認する各種機能を備えています。これらの回路 修正に関する機能はOptiFIB独特のもので終点検出、イメージ向上、作業記録、データ解析、グラフ化などが 含まれます。
- システムはNEXSソフトウエアのナビゲーションツールと互換性があります。オプションのKnights データベースリーダーで現存するKnightsデータベースをNEXSレイアウトツールに読み込むことができます。
- オプション
- P3X-IVではお客様の回路修正のご要望に応えられるよう、各種オプションを取り揃えています。
- レーザー干渉計つき高精度ステージは全ての移動範囲にわたって300nm以下の誤差で移動できます。 CMPナビゲーター(エレクトロニクステージ)の高精度位置あわせ、低イオンビーム電流終点検知により、P3X-IVは業界最高の 修正成功率を誇ります。またロードロックもオプションでご用意できます。
- 断面作成と物理的な欠陥解析に必要なチルトステージオプションもあります。
- P3X-IVの300mmMWS（電動ウエハーステージ）を使用すると300mmまでのウエハーとパッケージ部品の回路修正が できるようになります。
- ※オプションでデュアルマイクロジェットと多種アシストガスマニフォールドもあります。
