Meridian WaferScan
- 裏面ウェファーレベルの解析。
- “「致命的な欠陥」を探すとき､チップ一個
のみに集中してはいませんか？”
- 期待値が高いほど､意味があるはずの統計的歩留りデータの収集は効果的ではありません。Meridian WaferScan は電気故障箇所特定に対して､複合的に大量のデータを処理する手法によって､全く新しいレベルのデバイス解析手法をもたらしました。 目的が発光解析であれ､最新のDLS解析であれ､WaferScanは解析室にウェハーベースのデータ収集能力を提供します。
- ＜Meridian Waferscan 5つの特徴＞
- ①Meridian-IVの機能を全て継承
- ②パッケージでの高解像SILイメージ
- ③チップ間高速インデックス移動
- ④ 高速ATEインターフェースによりダイナミック欠陥を広帯域でカバーします
- ⑤NEXSソフトウエア（及び一般的なEDAアプリケーション）との完全互換性
- "Meridian WaferScan"は、
物理的解析の価値を著しく高めます。
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- The Meridian WaferScan checklist for success
- □Ability to identify systematic defects
- □Significantly increase electrical measurement throughput
- □Improved defect localization success rate
- □Reduce physical analysis time, yet identify more defects
- □Avoid dicing the wafer prematurely
- 解析の標準が変わってきています。準備はできていますか？
- 見えない「欠陥」
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- 物理欠陥よりも機能欠陥
- 特定の故障にたどり着けない
- プロセス変動や露光に起因する欠陥
- デバイスタイミングの衝突､電力消費､電力浪費､ノイズ
- プロモーションムービー
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