Meridian
- 欠陥／故障箇所特定
- The Meridian-IVは、欠陥／故障箇所特定向けの、最先端の感度を有する、超高性能電気故障解析インテグレートシステムです。 Meridian IVは、クラス最高の性能と、デザインマージン減少による特性欠陥を含む広範囲の故障解析モードを必要とする、先端、低電圧、高集積度セミコンダクターデバイスの開発者に最適のシステムです。
45nmノードでの解析では過去には無い、より微細な問題が周波数増加と共に発生し、非常に複雑になってきています。 新しいダイナミック解析手法とその作業の採用でこれらのさまざまな新規の問題解決が可能になり、従来のスタティック故障だけではない広い範囲の欠陥をカバーすることも出来るようになりました。 ダイナミックとスタティック、両方の技術を効果的に組み合わせることでMeridian-IV電気故障解析システムはVLSI回路設計検証をすばやく行い、信頼性と要素欠陥ともとらえられる歩留りの低下要因を正確に分離発見し、より短時間かが要求される開発期間のさらなる短縮と利益の確保に役立ちます。
- ＜Meridian-IV ７つの特徴＞
- ①市販品中最高の感度とピクセルカウント（640ｘ512ピクセル）の熱エミッションシステム
- ②クラス最高のInGaAs採用の発光検出
- ③特許取得済みの、使用実績の高い「ポイント・クリック 」の固浸レンズ（SIL）
- ④ダイナミック／スタティック解析用のLSMオプション
- ⑤ATEのダイレクトドッキングが容易なインバートプラットフォーム
- ⑥パッケージされたデバイスやウェーファー／チップの裏面サンプルも簡単に扱えます
- ⑦NEXSソフトウエアの組み合わせにより微細部分の発光解析
- イメージの再合成
- Meridian-IVから高品質、高倍率イメージのモザイク画像が作れます。
- 高倍率イメージを一枚ずつ撮り、それをスムーズにつなぎ合わせてデバイスの広範囲なモザイク画像を作ることが出来ます。
- ダイナミック故障解析
- ①半導体テクノロジーの止まることを知らない進歩により設計、故障解析に対する要求は、従来の発光解析や静的レーザー解析（SLS）に代表されるスタティック（静的）解析を超える必要が生まれました。 例として、より微細化し集合化したプロセス技術の結果として良品／不良品両方のトランジスターから同様の発光が起きるようになり、良品と不良品の動作特徴を切り分けるのが難しくなっています。
- ②特性欠陥は不良デバイスが特定のパラメーターセット、一般的に電圧、クロックスピード、使用温度の組み合わせ等で動作されているときだけ発生するものです。 最新の解析手法を組み合わせた具体的な検出技術を採用することでロジックステートマッピング（LoSM）やダイナミックレーザースティミュレーション（DLS）等の新しいダイナミックアプリケーションが導入されました。
- ③MeridianはどのようなATEドライブともインターフェースが取れる対応性と自由度の高さを保証する最新の逆転マイクロスコープ構造でこの問題を解決しています。Meridianの光学系と検知システムはスタティックな問題を切り分ける機能を保ちつつ、最新のダイナミックアプリケーションや技術開発に対応できるよう最高の性能に設計されています。
- ④Meridianに搭載されている発光顕微鏡は高感度近赤外（SWIR）InGaAsカメラと球面収差補正冠付き高開口（NA）の光学系を組み合わせて最適化したものです。この組み合わせにより裏面からのデバイス解析に極めて有効な、シリコンを通した高分解能のイメージと0.9から1.6μmの範囲での微信号フォトン検出が可能になります。
この最適化された低ノイズ、高感度構成により、無比のSN比を保ち、動作電圧１ボルト未満のデバイスにおいても高速なトランジスターレベル欠陥検出を短時間で発光検出が可能となりました。
- スタティック・ダイナミックレーザースティミュレーション(SLS)
- レーザースキャニングマイクロスコープ（LSM）オプションによりMeridianはスタティック・ダイナミック故障解析に最適な高解像度、高コントラスト共焦点レーザースキャンシステムに変身します。
- OBIRCH、OBIC、Seebeck Effect Imaging (SEI)、のようなスタティックレーザースティミュレーション (SLS)アプリケーションは短絡や抵抗不良箇所を検出し、発光解析技術を補完する役割を行います。
- 制御
- Meridian故障解析システムはウインドウズ上で動作する熟成したBEAMSユーザー環境と解析ソフトウエアパッケージ上で動作します。熟慮され、機能が豊富なこのユーザー環境は20年以上にわたり改良が続けられ、優れた故障箇所特定、解析機能が備わっています。
- BEAMSソフトウェアをMeridian－IVの改良された光学系とあわせて使用する事により、高倍率イメージをつなぎ合わせて一枚のイメージにするイメージモザイク機能を持つデバイス解析機能を提供します。
- オプション
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- レーザースキャニングマイクロスコープ（LSM）
- 標準型固侵レンズ（SIL）
- 175x長動作距離SIL（LWD-SIL)
- 高性能256*256ピクセル InGaAsカメラ
- 高性能640*640ピクセル InGaAsカメラ
- 高性能1000*1000ピクセル InGaAsカメラ
- CCDカメラ
- プロモーションムービー
