ELITE
- 性能がより向上した、
ロックインサーマルシステム。 - 不良品や性能が十分出ない半導体デバイスには異常なエネルギー消費をする箇所があり、部分的な温度上昇が認められることが度々あります。ELITEは問題部分を正確、かつ効率的に検出するのにロックイン赤外線サーモグラフィ（LIT）を採用しています。
ロックインサーモグラフィ（LIT）は動的赤外線サーモグラフィの一種で、静的サーモグラフィよりSN比がはるかに高く、また感度や解像度も高いものです。LITはIC解析に用いて短絡、 ESD欠陥、酸化による故障、故障したトランジスタやダイオード、デバイスのラッチアップなどを検出できます。LITは通常の環境で使用でき、光を遮断する容器等は必要としません。
- ＜ELITE ７つの特徴＞
- ①市販品中最高の感度とピクセルカウント（640ｘ512ピクセル）の熱エミッションシステム
- ②リアルタイムのロックイン計測
- ③数秒計測後で１mK以下の温度差検出、数時間計測後で10μK以下の温度差検出能力
- ④非接触の絶対温度分布図作成
- ⑤パッケージを通しての解析、積層ダイの解析
- ⑥MWIRエミッション用に最適化したカスタムレンズ類が装着できる４位置タレット
- ⑦色々な柔軟な構成が可能
- 積層ダイ解析
- 積層ダイは解析エンジニアにとって難しい問題です。若し夫々のダイが外部から接着してあるものであれば内側のダイを電気的に検査することは可能です。しかし積層が貫通電極（TSVｓ）で接続されている場合はどのダイに欠陥があるのかを簡単に決めることは出来ません。LITを用いると接着ダイか積層TSVダイかにかかわらずパッケージデバイス内の欠陥を３次元的にX, Y, Zの位置決めすることが可能になります。
- 三次元高解像度
- ロックイン周波数が高いほど３次元解像度は高くなります。しかしながら高い周波数を使用すると感知したい熱エミッションを大幅に減少させてしまいます。これが通常のLITシステムの限界でした。ELITEはこの問題を高周波数LITデータを時間無制限で蓄積するユニークなシステムアーキテクチャーで解決しました。データ蓄積時間を長くするほどデータの解像度は高くなります。
- 計測時間を変更することによる感度の調整
- データを長時間蓄積するほど感度は向上します。これは低出力状態でデータを採取しなければならないときや不良モードが僅かなときデータを取らなければならないときに非常に有用な機能です。
- オプション
- ELITEはお客さまのご希望にあわせて構成を変更できます。
- たとえば移動型のスタンドアローン構成にすることも、既存のプローブステーションに追加で装備することも可能です。
- ELITEは単レンズとカメラの構成か自由度を高める４位置タレット構成も可能です。
- 28mm広角、1x、2.5x、5x、10xと640InSb(アンチモン化インジウム) の15μmピクセルピッチのカメラとの組み合わせで実効20倍の拡大可能な10xレンズなどの各種、高品質、MWIRマイクロスコープ用対物レンズが用意されています。
- ※ELITEカメラとレンズはドイツのThermosensorik社製です。
